Lambda Probe (샘플링 타입)

  • 열처리
  • 반도체 설비
    • Rapid Process 설비
    • 프로세스 및 트랜스퍼 챔버의 잔존 산소 농도
  • 산소 농도 관리가 필요한 공정
  • 연소가스
  • 수명이 길다 (일반 O2 센서 대비 2배 이상)
  • 정밀도가 높다
  • ppm ~ 21% 측정
  • 교체 및 점검이 용이하다
  • 열 충격과 물리적 충격에 강하다
  • 히터가 내장되어 상온에서 O2 측정이 가능하다.

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1 KOR 열처리&공업로용 제품